| 牌號 | 名(ming)稱 | 應用光譜波段范 （um） |
| JGS1 | 遠紫外光學石英(ying)玻璃 | 0.185-2.5 |
| 類別 | 厚度10mm毛坯的透過率(lv)（%） | |||||
| 0.185um | 0.200um | 0.220um | 0.240um | 0.300um | 0.185-1.2um | |
| 1 | ＞85 | ＞85 | ＞85 | ＞87 | ＞90 | 無吸收峰 |
| 2 | ＞70 | ＞80 | ＞80 | ＞80 | ＞85 | 無吸收峰 |
| 3 | ＞70 | ＞70 | ＞70 | ＞80 | 允許(xu)有吸收峰 | |
技術規格
| Diameter | 2inch | 3inch | 4inch | 5inch | 6inch | 8inch | 12inch |
| Thickness (um) | Depends on Request | ||||||
| Material | JGS1 | ||||||
| Grade/Brand | Fused Silica | ||||||
| Surface Finished | DSP、SSP、DSL | ||||||
| TTV (um) | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜5 | ＜10 | ＜15 |
| Bow/Warp (um) | ＜20 | ＜20 | ＜30 | ＜30 | ＜30 | ＜40 | ＜60 |
| Ra (nm) | ＜1 | ||||||
| S/D (um) | 40/20 | ||||||
| 特殊指標： 超平玻璃（Ultra-flat glass wafer） TTV＜1um 超薄玻璃（Ultra-thin glass wafer） Thickness：0.1-0.3um 超光滑玻璃（Ultra-smooth glass wafer ）Ra≤0.2nm |
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